interferoMETER 5600-DS

Interferometr światła białego do bezwzględnego pomiaru odległości z rozdzielczością subnanometrową

Nowy interferometr światła białego IMS5600-DS służy do pomiarów odległości z najwyższą precyzją. Sterownik oferuje specjalną kalibrację z inteligentną oceną i umożliwia absolutne pomiary z rozdzielczością subnanometrową. Interferometr jest wykorzystywany do zadań pomiarowych o najwyższych wymaganiach dokładności, np. w elektronice i produkcji półprzewodników.

Charakterystyka:

  • Pomiar odległości z subnanometrową precyzją
  • Najlepszy w swojej klasie: Rozdzielczość < 30 pikometrów
  • Pomiar bezwzględny, odpowiedni dla profili krokowych
  • Kompaktowe i wytrzymałe czujniki z dużą odległością przesunięcia
  • Częstotliwość pomiaru do 6 kHz dla szybkich pomiarów
  • Łatwa konfiguracja za pomocą interfejsu internetowego
  • Czujniki i kable odpowiednie do pracy w próżni

Bezwzględny pomiar odległości z dużym zakresem pomiarowym i przesunięciem odległości

IMS5600-DS służy do precyzyjnych pomiarów przemieszczenia i odległości. System zapewnia bezwzględne wartości pomiarowe i dlatego może być również używany do pomiaru odległości profili krokowych. Dzięki pomiarowi bezwzględnemu kroki są próbkowane z wysoką stabilnością sygnału. Podczas pomiarów na poruszających się obiektach, różnice w wysokości obcasów, stopni i zagłębień mogą być zatem niezawodnie wykrywane. System pomiarowy oferuje rozdzielczość poniżej nanometra z dużą odległością przesunięcia w stosunku do zakresu pomiarowego.

Wieloszczytowy pomiar odległości

Dzięki wieloparametrowemu pomiarowi odległości na przezroczystych obiektach, jednocześnie ocenianych jest do 14 wartości odległości. Na przykład można określić odległość między szkłem a płytą nośną. Kontroler może następnie obliczyć grubość szkła na podstawie wartości odległości.

Zaprojektowane do pomiarów odległości o wysokiej rozdzielczości w próżni

Interferometry IMS5600-DS mogą być wykorzystywane do zadań pomiarowych w środowiskach próżniowych i pomieszczeniach czystych, w których interferometry osiągają rozdzielczość w zakresie subnanometrów. Do zastosowań próżniowych Micro-Epsilon oferuje specjalne czujniki, kable i akcesoria przelotowe. Te czujniki i kable są w wysokim stopniu wolne od cząstek i mogą być używane w pomieszczeniach czystych do UHV.

Stabilne pomiary odległości z najwyższą precyzją

Kontroler może być zainstalowany w szafie sterowniczej poprzez montaż na szynie DIN i zapewnia bardzo stabilne wyniki pomiarów dzięki aktywnej kompensacji temperatury i pasywnemu chłodzeniu. Te kompaktowe czujniki zajmują bardzo mało miejsca i są wyposażone w bardzo elastyczne kable światłowodowe. Przewody o długości do 10 m pozwalają na przestrzenną separację czujnika i kontrolera. Czujnik można łatwo i szybko ustawić dzięki zintegrowanemu laserowi pilotującemu. Uruchamianie i parametryzacja są wygodnie wykonywane za pośrednictwem interfejsu internetowego i nie wymagają instalacji oprogramowania.

Pomiar na wielu powierzchniach

Interferometryczna metoda pomiarowa umożliwia pomiary na wielu powierzchniach. Umożliwia to bardzo precyzyjne pomiary odległości na odbijających metalach, tworzywach sztucznych i szkle.

Liczne modele do wymagających zadań pomiarowych

ModelZakres pomiarowy /
Początek zakresu pomiarowego
LiniowośćLiczba mierzalnych warstwObszary zastosowań
IMS5600-DS192,1 mm / ok. 19 mm±10 nmPrecyzyjne pomiary odległości w procesach przemysłowych, np. w produkcji precyzyjnej
IMS5600-DS19/VAC2,1 mm / ok. 19 mm±10 nmPrecyzyjne zadania pozycjonowania i pomiary odległości w pomieszczeniach czystych i próżni, np. w produkcji wyświetlaczy do pozycjonowania masek
IMS5600MP-DS19Pomiar odległości:
2,1 mm / ok. 19 mm
Pomiar grubości:
0,01 … 1,3 mm (dla BK7, n=1,5) / ok. 19 mm
±10 nm dla pierwszej odległości
±100 nm dla każdej kolejnej odległości
Do 13 warstwPrecyzyjne pomiary odległości i grubości w procesach przemysłowych, np. w produkcji półprzewodników do określania grubości warstw na waflach lub w produkcji diod LED.
IMS5600MP-DS19/VACPomiar odległości:
2,1 mm / ok. 19 mm
Pomiar grubości:
0,01 … 1,3 mm (dla BK7, n=1,5) / ok. 19 mm
±10 nm dla pierwszej odległości
±100 nm dla każdej kolejnej odległości
Do 13 warstwPrecyzyjne pomiary odległości i grubości w pomieszczeniach czystych i w próżni np. w produkcji półprzewodników do pomiaru położenia i wymiarów szczelin na maskach i waflach

Nowoczesne interfejsy do integracji z maszynami i systemami

Sterownik oferuje zintegrowane interfejsy, takie jak Ethernet, EtherCAT i RS422, a także dodatkowe połączenia enkodera, wyjścia analogowe, wejścia synchronizacji i cyfrowe wejścia/wyjścia. W przypadku korzystania z modułów interfejsu Micro-Epsilon dostępne są interfejsy PROFINET i EthernetIP. Pozwala to na integrację interferometru ze wszystkimi systemami sterowania i programami produkcyjnymi.

[wpdm_package id=’12142′]

[wpdm_package id=’12167′]
[wpdm_package id=’12149′]

[wpdm_package id=’12151′]

[wpdm_package id=’12146′]

[wpdm_package id=’12153′]

[wpdm_package id=’12168′]